강의계획서
| 교과목코드 | SE262001 | 교과목명 | 반도체친환경인프라기술 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 정범석 |
| 교수소속 | 반도체공학부 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | bjung@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6694 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 환경 인프라 기술 개요 |
| 2주차 | 가스 서플라이 시스템 |
| 3주차 | 유틸리티 |
| 4주차 | 온실가스 배출 |
| 5주차 | 초순수 |
| 6주차 | 스크러버 |
| 7주차 | ai와 공정자동화 |
| 8주차 | 센서와 로봇기술 |
| 9주차 | 센서와 로봇기술 2 |
| 10주차 | 기후변화대응기술 |
| 11주차 | 미래 인프라설비 |
| 12주차 | 공정최적화 |
| 13주차 | dsrk fab의 미래 |
| 14주차 | 토론 |
| 15주차 | 기말평가 |
| 16주차 |