강의계획서
| 교과목코드 | DG161802 | 교과목명 | 멤스 및 미세가공 개론 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 기계공학과 | 교수 | 김도현 |
| 교수소속 | 기계시스템공학부 로봇공학전공 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | dohyun.kim@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-324-1425 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | Course introduction, Background on Microfabrication |
| 2주차 | Background on MEMS, Scaling |
| 3주차 | Crystallography, Cleanroom technology |
| 4주차 | Photomask |
| 5주차 | Photolithography |
| 6주차 | Wet etching |
| 7주차 | Wet etching |
| 8주차 | Vacuum Technology, Dry etching |
| 9주차 | Dry etching |
| 10주차 | Physical Vapor Deposition |
| 11주차 | Physical Vapor Deposition |
| 12주차 | Thermal Diffusion, Thermal oxidation |
| 13주차 | Thermal oxidation, Ion Implantation |
| 14주차 | Chemical Vapor Deposition |
| 15주차 | Chemical Vapor Deposition, Process Flow |
| 16주차 |